真空炉的安全使用是安全生产的重要组成部分，除了做实验以外，建议不要让停留在高温炉管附近。在使用时要注意以下事项：

1、在实验工作完毕以后，要关特殊气体，保留N2流动即可。真空气氛炉管要保持在standby温度，并要仔细查看其它电源是否关闭，如果没有就随手关闭。

2、在使用管电炉时还要避免吸入从炉子或者是处理槽所冒出的各种气体，以便发生中毒的情况。

3、在没有使用到时，要将炉子的长短推杆的前端朝上放置，以免污染。

4、在晶片进出炉口承接boat的holder的时候，尽量不要碰触管式炉的炉管口，以免炉管受到污染。

在试验过程中，请节约纯水的使用，一旦发现安全隐患或者不正常的现象时，要尽快通知有关技术人员，以防止事故的发生。